用检漏仪和四极质谱仪比较测试结果

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-04 19:26:28 * 浏览: 7

四极质谱仪主要用于分析混合气体的成分。他们需要高真空范围内的测试压力。质谱仪几乎可以与任何示踪气体一起使用，因为它们的使用不依赖于经典示踪气体的氦气。残留气体分析仪无需任何特殊的测试气体即可检测真空系统中的泄漏。他们分析空气中的气体质量。示踪气体氦气的泄漏检测器目前尚未基于四极质谱仪进行设计。它们具有更高的鲁棒性和长期稳定性，并且结果和数据解释更容易量化。这些特性导致以下事实：所有上述基于扇区磁场质谱仪的质谱仪检漏仪均主要用于此目的。带石英窗口传感器的检漏仪也用于不需要高灵敏度质谱检漏仪的应用中。带石英窗口传感器的设备可以在很高的测试压力和高水蒸气接触下工作。